羅茨螺桿真空機(jī)組組配用的前級(jí)泵，采用進(jìn)口等螺距螺桿真空泵。主要表現(xiàn)在振動(dòng)小、噪聲低、抽氣效率高、高壓運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)可靠信好等。由于上述真空泵的諸多優(yōu)點(diǎn)，從而保證了機(jī)組具有良好的抽氣效率。
 

　　羅茨螺桿真空機(jī)組是由常規(guī)羅茨泵與干式螺桿泵串聯(lián)組成，同時(shí)配有管路、閥門、機(jī)架及電器控制箱等，當(dāng)前級(jí)干式螺桿泵工作后，由真空規(guī)頭及真空繼電器來控制羅茨泵的起動(dòng)。由于羅茨泵與螺桿泵轉(zhuǎn)動(dòng)部件都是不接觸件，因此機(jī)組具備運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)、噪音低、振動(dòng)小，結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小等優(yōu)點(diǎn)。
 

　　羅茨螺桿真空機(jī)組因節(jié)能效果明顯，高真空區(qū)抽氣量大，真空度高 , 是電工、電子、 鍍膜、冶煉、熱處理、干燥、蒸餾、制藥、化工、軍工、航天等行業(yè)理想的抽氣設(shè)備。特別適用于要求無油蒸汽污染的半導(dǎo)體行業(yè)，同時(shí)也適用于含有大量水蒸汽及少量粉塵的抽氣場(chǎng)合。
 

　　羅茨螺桿真空機(jī)組產(chǎn)品特點(diǎn)主要表現(xiàn)在振動(dòng)小、噪聲低、抽氣效率高、高壓運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)可靠信好等。由于上述真空泵的諸多優(yōu)點(diǎn)，從而保證了機(jī)組具有良好的抽氣效率。
 

　　目前機(jī)組上采用的羅茨泵為普通ZJ型或ZJP型羅茨泵，由于ZJ型或ZJP型羅茨泵必須在真空系統(tǒng)被前級(jí)泵抽到羅茨泵的允許起動(dòng)壓力后才可起動(dòng)羅茨泵工作。因此，一般在機(jī)組進(jìn)氣口處須安裝電接點(diǎn)壓力表，通過電接點(diǎn)壓力表可控制羅茨泵的啟動(dòng)和停機(jī)。即當(dāng)前級(jí)VPS螺桿泵起動(dòng)后開始對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行預(yù)抽,當(dāng)系統(tǒng)壓力(即羅茨泵進(jìn)氣口處壓力)達(dá)到允許羅茨泵啟動(dòng)的設(shè)定壓力(即電接點(diǎn)壓力表綠針?biāo)笁毫χ?時(shí)，羅茨泵就可起動(dòng)工作。如果在機(jī)組各泵已處于正常工作情況下，由于發(fā)生特殊情況當(dāng)羅茨泵進(jìn)氣口壓力高于電接點(diǎn)壓力表上綠針?biāo)钢禃r(shí)，羅茨泵立即會(huì)自動(dòng)停機(jī)，這樣就可實(shí)現(xiàn)羅茨泵的自動(dòng)過載保護(hù)，從而可以避免機(jī)組出現(xiàn)過載和過熱而導(dǎo)致機(jī)組發(fā)生故障。