螺桿真空泵是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，在國(guó)內(nèi)制藥、化工、半導(dǎo)體等對(duì)清潔真空要求較高的企業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
 

　　國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)概況：
 

　　1、國(guó)內(nèi)螺桿真空泵的企業(yè)，從2004年起便開始進(jìn)行型線與結(jié)構(gòu)性能方面的研究。在2007年國(guó)內(nèi)干式螺桿真空泵的市場(chǎng)基本被國(guó)外廠家占據(jù)的時(shí)候，國(guó)內(nèi)公司投入大量資金將該產(chǎn)品轉(zhuǎn)入批量化的生產(chǎn)，并得到國(guó)家的大力支持獲得各類省級(jí)科技獎(jiǎng)項(xiàng)和資金。LG干式螺桿真空泵極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式/噴射式/水環(huán)式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，在國(guó)內(nèi)各大制藥和化工企業(yè)得到大量應(yīng)用。針對(duì)不同工藝條件，其過(guò)流部件(即轉(zhuǎn)子和泵體等與氣體接觸的部分)均有防腐涂層，包括鎳磷涂層和PTFE兩種。
 

　　2、德國(guó)和日本公司在1999年底正式推出的螺桿式無(wú)油壓縮真空泵是一種專門為工業(yè)應(yīng)用(非半導(dǎo)體應(yīng)用)設(shè)計(jì)的干式泵，它是一種全新的設(shè)計(jì)，是專門用來(lái)解決工業(yè)應(yīng)用中艱苦的真空問(wèn)題，如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉(zhuǎn)子，有內(nèi)壓縮過(guò)程，泵腔內(nèi)無(wú)軸承和密封，大大降低了故障率，泵腔內(nèi)沒有內(nèi)部閥門，因而耐粉塵和焦油能力強(qiáng)，此泵的螺桿采用內(nèi)部中空冷卻，可以降低轉(zhuǎn)子溫度和熱變形，螺桿壽命長(zhǎng)。